Système de métallisation et de dépôt carbone
Fourniture d’un système de métallisation et de dépôt Carbone par tresse Carbone fonctionnant sous vide secondaire (pression inférieure à 1×10-5 mbar), comprenant notamment : platine porte-échantillon (tilt manuel ou motorisé 0° à au moins 30° ; hauteur ; rotation motorisée avec vitesse ajustable), mesure de l’épaisseur via cristal piézoélectrique quartz (au moins 10 quartz), dépôt de couches de quelques dixièmes de nanomètres à quelques centaines de nanomètres, contrôle automatique de l’épaisseur avec arrêt de déposition, système de pompage (pompe sèche et turbopompe), possibilité de créer et enregistrer des recettes, cibles Cr, Ti, Au/Pd ou Au, installation et formation sur site pour 3 personnes. Variantes interdites. PSE facultatives : nettoyage par plasma, cibles supplémentaires (Cr, Au/Pd/Au, Cu, Ti, Ni), tresse Carbone supplémentaire, extensions de garantie (1 an puis 2 ans), boîte de 10 quartz supplémentaire.